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椭偏光谱是一种强大的光学反射率测量技术，用于确定薄膜的厚度和光学及其他相关性质。它表现出比其他依赖偏振的光学技术更好的灵敏度，特别是对薄膜厚度和均匀性，并且可以很容易地获得任何其他反射测量方法都无法获得的信息。最值得注意的是，在理想的操作和工艺条件下，光谱椭偏仪可以在更薄的薄膜样品上提供比任何其他已知技术更准确的薄膜厚度测量。
我们的椭圆偏振光谱系统基于最著名的技术设计，并结合先进和专利的FilmTek技术。虽然光谱反射仪的典型可测量厚度范围从几十纳米到几百纳米，但FilmTek光谱椭圆偏振系统可以测量薄膜层到不到一埃厚，而不影响测量精度或重复性。
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