半导体与纳米技术

先进的逻辑

随着逻辑器件变得越来越复杂，如finFET、纳米片和其他结构的创新，计量需求也在增加。我们的解决方案支持这些器件的开发和生产，包括结合HRXRD和XRR测量，用于纳米片形状的复杂3D epi和AFM测量。

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先进电源(GaN & SiC)

布鲁克HRXRD / XRR系统是表征先进电力系统(如硅上氮化镓和SiC上氮化镓)的首选系统。它们用于世界各地的生产线，用于测量薄膜厚度，成分和质量，以确保布鲁克客户的高产量。

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先进的内存

从手机到笔记本电脑，再到高端服务器，各种各样的内存无处不在。这些包括DRAM、3D-NAND和更晚的相变存储器(如XPoint)和MRAM。布鲁克使用一系列x射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度、成分到形状轮廓。

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缺陷和污染

Bruker(以及之前的Bede和Jordan Valley)是x射线衍射成像(XRDI)的先驱，用于识别导致晶圆破裂的缺陷。这已经扩展到其他衬底的缺陷，可以影响产量。布鲁克还提供TXRF系统，用于识别Si和SiC衬底上的金属污染，这对生产线产量至关重要。

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显示器和触摸屏

布鲁克为触摸屏和显示器制造提供卓越的生产计量

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电子元件(RoHS)

控制集成电路和电子元件的组成和厚度是提高其可靠性和功率效率的关键。布鲁克提供快速和非破坏性的分析解决方案，以确定设备及其层的组成和厚度，这也是筛选有害物质时所需要的。雷竞技网页版

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光电子的领导

布鲁克的元素分析仪、光学和AFM以及x射线计量解决方案可对外延层、蓝宝石衬底和光电器件进行精确和可重复的测量。我们的设备配备了先进的自动化功能，提供了最佳生产监控和新设备开发所需的关键答案。

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射频设备

射频设备是最新5G通信设备的核心。Bruker通过XRD提供x射线计量来表征epi薄膜，以及BAW / SAW滤波器所需的压电材料中使用的材料相和成分。雷竞技网页版

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半导体研究与开发

布鲁克的FT-IR仪器在世界范围内用于表征和研究新的半导体材料。雷竞技网页版例如声子光谱、红外光致发光、异质结构和带隙等方面的研究。

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太阳能

布鲁克的精密计量技术为太阳能研究和过程控制提供了动力

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晶圆级封装

布鲁克有一系列的晶圆级封装系统。利用微xrf可以实现对单个凸点的成分测量和凸点下金属的厚度测量。

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