纳诺表开发

栈由多Si和SiGe层组成现有的HVM计量学无法轻易辨别单个层,但报告平均值

跨层堆栈的深度和组成由 XRR和HRXRD直截了当

• 宽度使用X射线反射度测量
• 向高分辨率偏差建模输入这些结果以获取最优结果

测量程序全自动化VX7300LSI系统.

X射线反射法和X射线反射法强法多层样本结构非损分析并提供关于绝对层厚度、密度和组成高度精确信息
随身带8分解家庭并D8升级加法Bruker提供广泛的XRD解决方案解决半导体市场研发需求
FFRAC.LEPTOSBruker强薄膜分析套件允许同时改进XRR和HRXRD数据,以最大限度地生成信息

功能层变薄使得有效测量涂层厚度是一项极具挑战性的任务微xRF可测量厚度从位数nm到数十mm不等,视当前元素而定雷竞技网页版敏感度高的材料连子原子都可分析,通常测量每个区域沉积质量而不是厚度