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阶段的多晶薄膜性能是至关重要的。XRD是建立技术能够测量压电陶瓷和其他多晶薄膜。通过使用JVX7300L压电陶瓷薄膜结晶度可以自动确定和映射衬底生长过程进行监视。
JVX7300L还有一个可选的光谱仪通道使压电陶瓷构成的映射相同的工具,提高生产力和收益率。
JVX系列工具附带SECS-GEM和自动报告的标准,使关键过程信息的快速反馈。
多晶压电陶瓷片的性能,如锆钛酸铅、钛酸)是由水晶阶段和微观结构,这些关键参数可以通过x射线衍射(XRD)。XRD是一个非常强大的非破坏性分析技术阶段识别、量化和微观结构的分析多晶电影和粉末。D8发现和D8提前是力量的实验室衍射结合最高粉末衍射性能和易用性的解决方案。他们是非常适合瘦的多晶薄膜的表征研究,开发和生产过程控制。