钝化层
钝化层是什么?
钝化层半导体发挥重要作用和作为如保护、电子隔离或antireflectance层。力量傅立叶变换红外光谱仪的研究是理想的工具快速、敏感和非破坏性分析这样的钝化层。
用傅立叶变换红外光谱对钝化层分析
各种样本/晶片持有人可透光率,反射率或ATR调查钝化层不同厚度的测量模式。
例如硼和磷磷硅酸盐玻璃(PSG)和Boronphosphosilicate玻璃(BPSG)的特征以及如何量化与透光率测量中红外区域,使用合适的校准。
专用晶圆映射配件系列研究傅立叶变换红外光谱仪允许自动获取反射率和透过率光谱在不同样本的位置。
它可以同时执行如BPSG层的层厚度评价和定量分析和质量控制已被广泛接受。甚至超薄层像罪等离子层,超低k层或自组装单分子层单晶硅可以与最高灵敏度分析由于力量的创新的晶片ATR附件。雷竞技怎么下载想知道更多吗?
