Brukernano分析介绍

EME和STEM半导体拉链

即时会议-60分钟

量化元素电子透明样本映射

连续小型半导体结构需要了解纳米尺度以确保适当的设计分析与故障分析多项调查需要高端传输电子显微镜高度测量时间以及复杂标本编程和标本传输例程

显示选项评价元素分布电子透明样本,例如FIB散射X射线光谱分析TEM中,但也SEM网或FIB期间单片复用BrukerXFlash®检测器可用快速获取数据SEM和STEM电子透明标本量化EDS高效方法介绍

此外,EDS与其他分析技术相关联,例如使用Bruker的非破坏性微X射线流频分析M4TORNADO传输KikuchiDiffractionTKDSEM使用电子透明标本

元素分布器半导体薄片叠加二级电子图像SEM测试样本后,FIB使用高采集角擦除器XFlashFlatQUADED检测器和3分钟采集时间清晰度非全部元素显示

由谁处理

  • 科学家应用科学家半导体范式和实验
  • 学术工作人员和学生对FIB、样本准备、SEM-EM-EDS以及相关元素和结构分析技术

讲演者

博士maiken法尔克

Global产品管理员EDS/TEM,Brukernao分析

maxPatzschke

应用科学家EDSBrukernao分析

博士Purvesh索尼

应用科学家EDSBrukernao分析

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