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连续小型半导体结构需要了解纳米尺度以确保适当的设计分析与故障分析多项调查需要高端传输电子显微镜高度测量时间以及复杂标本编程和标本传输例程显示选项评价元素分布电子透明样本,例如FIB散射X射线光谱分析TEM中,但也SEM网或FIB期间单片复用BrukerXFlash®检测器可用快速获取数据SEM和STEM电子透明标本量化EDS高效方法介绍此外,EDS与其他分析技术相关联,例如使用Bruker的非破坏性微X射线流频分析M4TORNADO传输KikuchiDiffractionTKDSEM使用电子透明标本
博士maiken法尔克 Global产品管理员EDS/TEM,Brukernao分析
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