在SEM同轴的菊池衍射传播

在2012年首次提出⁽¹⁾在SEM,菊池衍射传播(跆拳道),也被称为t-EBSD,迅速成为一个既定技术由于其空间分辨率被至少一个数量级比标准EBSD。这项技术需要一个电子透明样品放置水平或略倾斜;例如电子束正常或接近正常,和一个标准的EBSD探测器定位,抓住了菊池模式从下面示例飞机。

认识到该技术的潜力,力量开始了与洛林大学的一组研究人员合作梅斯,法国,解决相关的限制非理想sample-detector几何学。这种合作新sample-detector几何证明原则称为“同轴的跆拳道锻炼”⁽²⁾后来导致的吗擎天柱^TM跆拳道探测器的头。新的探测器头特性水平屏幕可以直接插入下电子透明样品的光轴SEM交叉屏幕中心,因此名字同轴的跆拳道。这个配置的优势捕获信号产生最强的菊池模式和最小化球心投影引起的扭曲⁽³⁾。

自2015年推出以来,擎天柱^™跆拳道是唯一的商业解决方案使轴上跆拳道的SEM和新政府将自己定位为主要的跆拳道解决方案由于其功能。

无与伦比的性能

低调查目前的需求——擎天柱^™跆拳道使取向和相位映射与纳米尺度空间分辨率以每秒数百点使用不超过2 nA探针电流和优秀的数据完整性或索引质量。

空间分辨率——的空间分辨率至少2 nm(当使用高端FE-SEM),擎天柱^™跆拳道揭示高细节功能小于10纳米,有时功能甚至小于5纳米(参见下面的应用实例)。

擎天柱^™跆拳道探测器头部可以交替使用与标准探测器在所有的力量eFlashEBSD探测器,容易获得EBSD和跆拳道都使用相同的探测器。根据测量要求;例如空间分辨率,用户可以切换跆拳道训练和EBSD分析在10 - 15分钟。擎天柱^™跆拳道的作品完美结合我们的专利跆拳道样品持有人(EP 2824448 A1)。

最大化性能,分析成功,擎天柱^™跆拳道与一个内置的设计ARGUS™成像系统。它的高质量和高灵敏度固态探测器给用户选择获得辉煌的黑暗和光明的领域如纳米分辨率的图像速度高达125 k点/秒。虽然仅仅是定性信息,这些图像揭示重要微观结构细节:方向和相衬,混乱和堆积层错,或者甚至在某些情况下,残余应变。

力量的QUANTAX之一EDS/EBSD系统最欣赏的特性是其先进的集成的两种技术。优秀的集成是当然也可用电子透明样品,特别是强大的结合eFlash FS和独特的XFlash^®FlatQUADEDS探测器。这两个探测器提供无与伦比的数据质量,空间分辨率和吞吐量和工作完美地与我们的专利跆拳道示例持有人和新发布的x射线掩模。

• 空间分辨率对定位映射:2 nm或更好
• DF / BF成像的空间分辨率:1.5 nm或更好
• 最小的解决地图功能:~ 4海里退火非盟的双胞胎
• 测量速度:630 fps(帧/秒)
• 过去范围:5 - 30 kV诞生了
• 调查当前:至少95%的应用程序不需要超过2 nA

(1)传输EBSD从10 nm域扫描电子显微镜r·凯勒和r .角膜显微镜学报,245卷,Pt 3 2012年,页245 - 251

(2)方向映射由transmission-SEM同轴的探测器,J。- j Fundenberger等。2016年,161岁的Ultramicroscopy 17-22

(3)轴上和轴外传输的系统比较菊池衍射f . Niessen et al Ultramicroscopy, 186, 158 - 170, 2018