包覆锂离子电池阴极颗粒的EDS分析

镍钴锰(NCM)颗粒是锂离子电池的正极材料。雷竞技网页版在这个应用实例中，我们使用原子层沉积(ALD)技术在NCM颗粒上涂覆钛(Ti)。涂层的均匀性是研究涂层容量保持性能的重要因素。虽然用SEM或TEM成像很难将Ti层与基材区分开来，但通过EDS元素分析可以确定涂层的分布。

为了接近单个微米大小的颗粒的表面，用FIB-SEM在横截面上制备了样品。我们对同一样品区域进行了透射电子显微镜下的STEM EDS和扫描电子显微镜下的T-SEM EDS的比较研究。使用XFlash进行测量^®760传统的x射线EDS探测器，在扫描电镜的情况下，另外，一个环形探测几何的x射线EDS探测器，所谓的XFlash^®FlatQUAD。

可以识别20-30 nm厚的ti涂层，并且不仅可以在TEM中检测其均匀性，还可以使用XFlash进行常规设置^®760探测器在扫描电镜。在相同的测量时间内，用环形XFlash进行元素映射^®与传统的SEM EDS相比，FlatQUAD探测器可以获得更高的数据质量，并且由于环形几何结构中更高的x射线收集立体角，可以以15倍的速度产生相同的数据质量。