的结合用扫描电镜micro-XRF使潜在的在多尺度分析样本,从厘米(cm)毫米(mm)微米(µm),低于一个孤独的系统内。因此,通过添加micro-XRF SEM转化为一个双重源系统,这意味着有两种励磁的来源,电子束和光子束。源可以单独使用,或同时,生成示例将使用相同的测量EDS x射线探测器。此外,每个分析技术可以利用的好处:(i)光谱仪源背景很低,这意味着可以观察元素浓度降到10 ppm(元素和矩阵依赖),以及更大的深度信息,这意味着它可以看到结构或元素在样品表面。例如,夹杂物低于表面可以发现,即使在非常低的浓度;(2)电子束可以集中到一个非常小的面积和产量非常高分辨率信息。
现在可以创建这样一个组合新的工作流在单一系统。例如,它可以快速浏览一个大岩石样本,在这种情况下,一个Au-bearing spcimen从Karangahake低温热液矿床,使用micro-XRF。这使得识别感兴趣的领域,包括Au-bearing谷物(图1和2)。随后,可以分析这些“感兴趣的领域”更高分辨率使用电子束(图3)。因此,这双光束系统可以同时识别相关信息大规模(厘米毫米)来启用详细的小规模(mmµm)可以执行溪和准确。