使用扫描电镜的大面积映射(超映射)可能会受到标准扫描电镜台架缓慢移动的阻碍。此外,由于分析过程中电子束和样品相互作用的方差,在低放大倍率下存在潜在的x射线信号强度伪影。这与WDS分析尤其相关,也可以在BSE图像或EDS元素强度图中观察到。
的快速的阶段专为sem设计,可实现毫米(mm)到厘米(cm)尺度的大面积映射。这将消除与低放大倍率测绘相关的潜在的SEM x射线强度变化,从而增强以前不可能实现的时间域的元素和矿物学信息。快速舞台也与micro-XRF.
快速级的最大分析面积为50毫米x 50毫米,可与扫描电镜级结合扩展,以涵盖任何扫描电镜室中允许的最大可能的空间面积。使用扫描电镜进行传统的大面积分析是基于将众多视场拼接在一起以创建大面积地图,其中每个单独的场通过光栅光束进行映射。与样品相互作用的源x射线束处于固定位置,因此不能像标准的SEM电子束那样控制到光栅。
因此,所有的映射都是通过舞台控制(即舞台移动)进行的。因此,与em - Stage从一个点移动到另一个点相比,Rapid Stage使大面积区域的映射速度几乎快了一个数量级。实例如图1(混凝土)、图2(外来铜)、图3(土基岩)所示。