薄膜与SEM micro-XRF分析

作为x射线可以通过问题,x射线荧光(光谱仪)允许层厚度的测定。使用在SEM micro-XRF层分析(厚度和组成)呈现可行的微米尺度的空间分辨率。使用原子层基于量化分析是强烈的基本参数(FP)。它可以提高使用标准样品,所以各种类型的层系统可以接受《外交政策》的调查,如金属化晶片,julian预处理涂料和太阳能电池。当标准可用,它们可以用来提高准确性。但由于FP不需要标准,小说层系统在研发环境中也可以进行测试。层结构,如太阳能电池(图1),在许多行业都很重要。

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图1:薄膜太阳能电池分析的例子。在大多数情况下,吸收器产生从CIGS-structures Cu-In-Ga-Se或Cu-In-Ga-S化合物。CIGS-solar细胞通常是由沉积在玻璃基板上涂以Mo-layer。相比传统的膜厚度和SEM分析,层是以截面模式,XTrace措施平面表面直接与扫描电镜样品,这是一个快速、非破坏性技术,无需样品制备。

图2:Micro-XRF太阳能电池显示所有相关元素的谱线来自不同深度,甚至莫位于~ 2µm样品表面以下。注意,高能Z-elements行(例如Mo-K和k),利用光谱仪来源很容易激动。x射线激发的大深度允许更深层次的观察材料内部,使相对厚层甚至多层系统的表征从1 nm和40µm。此外,香烟的组成结构也将决定。分析了这个示例使用standardless基本参数的方法。标准可用于提高精度。