HysitronATI8800
自动薄膜机械并进度
装饰品
HysitronATI8800
Bruker Hysitron ATI 8800纳米计量设备使公司能够快速识别出料过程变化并快速监测产品机械可靠性,但测量机械特性和/或相容粘合值可量化变异南间机能度量学可快速识别流程变异提高产量、提高产品可靠性、验证新流程、减少市场时间并最小化操作成本测量完全自动化并有能力持续监控薄膜模数、硬性度和高容量制造环境中的跨子叠加
自动化
300mm wifer处理
全自动化内线或近线纳米机度
精度
最高敏度度量
远程传感器技术提供最高层次测量分辨率和稳定性
识别
物理属性一致性
度量模度,硬性,薄膜粘合
Caractericas
Industry-Leading Nanoindentation
微小力应用到钻石探点 已知几何学 探点移入物面时 持续监控生成负载深度曲线为材料的“机械指纹”,用于量化计算机械性能
纳米缩进应用设备制造过程使用的每一材料模强度测量高度敏感物料组成变化、孔隙度和厚度变化
南oscratch叠加
线性增强正常力应用薄膜,抓取探针向横向翻译探针接近胶片/基调接口时,翻译探针应用压力导致跨向粘合失效
Nanoscratch快速复用fab技术监听薄膜间延1:1匹配结果和四点弯曲测试可互为关联
Aclices
薄膜机械加固一致性
ATI 8800提供高度局部机械属性和分层粘合测量,使得能量化测量波段不同区域的差异
过程监控
雷竞技网页版技术快速进步需要大多数新产品使用新材料和修改过程开发有了每一种新材料、过程或厚度,就不可能指前设备可靠性成绩雷竞技网页版鉴于当前和未来材料使用和厚度使用,差错空间微乎其微
持续统计采样存储薄膜的纳米机械性能产生对流程漂移和结构变化的丰富知识,传统上需要数种慢度计量工具识别问题