化合物半导体的x射线计量

拉德软件

软件,使快速和准确的XRD测量分析

Bruker RADS是业界最值得信赖的软件,用于模拟和分析来自单晶衬底外延薄膜结构的高分辨率x射线衍射(HRXRD)数据。它是研发、生产和学术界的首选软件,用于详细分析简单和复杂的结构。

RADS软件为用户提供了多种工具,能够准确快速地进行XRD测量分析。通过自动计算工艺参数,并立即处理反馈到生产,RADS软件从一开始就设计用于改进工艺和生产结果。自1991年以来,这种独特的功能组合使RADS成为领先的过程监控和分析软件。

新功能

  • 主题GUI,允许用户选择程序的外观和感觉(Bede, Jordan Valley和两者的混合)
  • 增加了对粘接SOI基板的支持
  • 改进了缺陷散射模型,包括镶嵌模型和由于离子注入引起的随机原子位移的影响
  • 允许来自不同反射的两个测量数据集同时使用一个公共结构模型进行拟合
  • 包括显示各种参数的深度剖面的能力,如成分
  • 打印报表可以以HTML、PDF、RTF和各种其他格式创建
  • 改进的批处理能力
  • 支持多核处理器,并能够分配到任何特定的核心/CPU。

规范

  • 采用x射线衍射动力学理论(Takagi-Taupin)进行精确模拟
  • 使用现代处理器上可用的SSE2/3指令进行快速模拟。模拟和拟合将比v3快x3-4左右。X在同一台计算机上。
  • 包括专利数据拟合技术,用于可靠的多层结构自动化分析
  • 使用电子表格风格的层列表(包括超晶格)轻松创建模型结构
  • 允许使用层参数方程指定任意成分和应变剖面
  • 层参数链接,简化复杂多层结构的分析
  • 广泛的内置和材料数据库,也可以用户定制雷竞技网页版
  • 模型外延在非001立方材料上,如(110)和(111)取向衬底上雷竞技网页版的层;也支持巴塞尔平面(c面)定向六角形材料雷竞技网页版
  • 模拟现实的仪器条件
  • 先进的科学绘图和输出能力
  • 支持多种数据文件格式(Jordan Valley, Bede, Bruker, PANalytical)
  • 支持将合适的结果写入关系数据库
  • 批量分析多个实验数据文件
  • 提供集成的宏语言和强大的自动化功能
  • 支持Windows XP, Vista和7