AcuityXR
提高横向分辨率的三维光学表面分析器
白光干涉法中牢固确立是最快,最准确,最通用的表面测量技术可用于研究人员和制造商。然而,干涉的一个缺点是有限的横向分辨率相比,原子力显微镜或扫描电子显微镜系统。力量开发了一种革命性的干涉测量技术,有效地克服了这一光学衍射极限的前提下白光干涉法的其他好处。
AcuityXR®结合独特的新力量的硬件和软件技术,选择轮廓三维光学表面分析器打破光学衍射极限和交付横向分辨率以往被视为高不可攀与传统的光学显微镜技术。它作用于光滑表面的反射光的相位是用来计算表面高度的white-light-interferometric信号,提高清晰度,清晰、划痕和定义,缺陷和表面纹理。此外,维可重复性在纳米结构提高了5倍的一个因素。
350纳米线宽测量用标准PSI(左)与小功能分离和AcuityXR PSI(右),显示出高水平的功能分化。
拍摄的图像与标准ψ(左)和AcuityXRψ(右)显示了巨大的进步在AcuityXR PSI的能力使图像不那么调皮捣蛋的同时显示适当的结构示例。
说明pixel-limited决议。红酒吧代表整体的光收集每个像素。两个相邻的特性不会区分,因为相机像素间距不足。
衍射极限分辨率的插图。特性比相机像素间距宽,但由于模糊的光学系统,在这种情况下仅仅是分开的。
通过系统建模的结合、低噪声测量和多个表面扫描,AcuityXR减少了模糊造成的光元素显著提高横向分辨率。狭窄的特性,它还提供了显著增强了量化的宽度变化,使过程控制可能即使在小的结构。这是一个有价值的能力光栅制造过程监控、MEMS传感器临界尺寸测量和其他过程开发或质量控制使用。基于新技术,AcuityXR产生与两次采样测量X和Y方向相对于标准干涉测量,大大提高光学轮廓测量的能力与力量进行三维显微镜的应用程序。
