光谱椭圆光度法

光谱椭圆光度法测量薄是一个强大的技术和超薄电影(< 1)与单个或少数离散层。这种技术非常敏感膜厚度和均匀性,可用于几乎任何透明薄膜进行调查。是特别有用的超薄薄膜应用程序(< 100海里),可以测量薄层比探测光的波长小于单个原子层,厚度超过了类似椭圆对称,reflectometry-based技术的局限性。除了膜厚度,光谱椭圆光度法提供了高度精确的、可重复的测量介电性能(复杂的折射率和介电张量函数)和光学常数的一个示例实现折射率分辨率2 x 10³在一些样品。

FilmTek光谱椭圆计使用先进的旋转补偿器设计提供最佳的重复性和相对ellipsometric性能优于其他设计——即旋转偏振器和分析器椭圆计。此外,FilmTek光谱椭圆计(SE)产品线的技术,价格适宜的先进的多通道系统。多通道工具结合光谱椭圆光度法与其他电影计量方法和专有FilmTek技术来满足用户的需要处理具有挑战性的材料和外部折射率分辨率测量需求,层结构,材料/底物限制其他光谱椭圆计。雷竞技网页版

收集ellipsometric数据与FilmTek SE-model仪器简单、高效和直观。配备我们的专有FilmTek软件和优化算法,能够完整的自动化,这些系统最小化操作停机时间和人为错误所带来的高潜力手动测量校准,数据采集,数据分析过程和与类似椭圆计,不需要手动样本对齐。