力量的电气特性模块(ECM)π系列仪器提供了一个强大的解决方案同时现场机电测量。使用导电路径连接探针和样品,应用电压偏差允许连续测量的电接触条件,应用力和探针位移的函数。特定场地测试可以由确认适当的提示与电子显微镜成像位置。付给小费电气测量也可以用来了解机电性能的微粒子或纳米结构如柱和。湿度或水吸附真空环境影响最小化的电子显微镜。
促进ECM的功能,MEMS电气做(E-PTP)设备使拉伸试验同时测量样品使用标准四探针电阻率测量。当前采购的分离和电压传感电极允许通过消除接触电特性的精确测量和引线电阻测量。第四电压扫描也可以执行测量曲线,而真正的应力和应变是由监视和测量试样尺寸的电子显微镜。