二维电容式传感器

力量的二维电容传感器技术使nanoindentation和nanoscratch测试功能在一个单一的测试头。2 d传感器提供敏感力和位移测量正常和横向方向定量纳米力学和摩擦学特性。在抓经营模式中,2 d传感器使局部摩擦测量个人微观结构,接口和超薄薄膜。增加力量抓利用2 d转换器是一种常见的量化薄膜/基体界面粘附特性。

力量的2 d传感器利用静电力驱动和传感电容位移传感器技术在正常和横向两个方向最大的测量灵敏度。通过为横向的翻译不需要吵闹的机动阶段,表面的摩擦学特性可以可靠地在nanometer-to-micrometer特征长度尺度。