金属切削刀具用碳化钨涂层的研究

金属切削工具使用WC-Co(富钴基体中的碳化钨)等硬质合金，采用不同的CVD和PVD基涂层，以提高表面硬度、刚度和耐磨性。这些涂层主要是过渡金属氮化物和碳化物，如TiN、TiC、ZrN、VN、TiCN、TiAlN。

在本应用示例中，TiC/N和Al₂O_3.WC-Co层上的层用EDS进行映射。F搞笑。1显示了切削刀具边缘的聚焦离子束(FIB)横截面。顶部是TiN涂层层，其次是Al涂层层₂O_3./TiN/TiCN/TiN和WC-Co作为衬底。与EDS，我们可以区分TiN、TiCN和TiN层之间N组成的变化(图2)。此外，思捷环球来自Bruker的分析软件能够自动反卷积强烈重叠的Ti和N(图4)。