EDS分析涂锂电池阴极粒子

Nickel-Cobalt-Manganese(不合格品)粒子用作锂离子电池阴极材料。雷竞技网页版在这个应用程序的示例中,我们使用两种粒子镀钛(Ti)的原子层沉积(ALD)。涂层的均匀性是重要的在学习记忆的能力。虽然很难区分钛层和SEM和TEM成像的基础材料,涂层分布可以通过EDS元素分析确定。

访问单个微米大小颗粒的表面,由FIB-SEM标本制备在横截面。我们提出相同的样本区域进行比较研究,分析了干EDS T-SEM EDS在透射电子显微镜和扫描电子显微镜。使用XFlash进行了测量^®760年传统x射线EDS探测器和SEM,此外,x射线EDS和环形探测器检测几何,所谓的XFlash^®FlatQUAD。

20 - 30 nm厚Ti-coating可以被识别,可以检查其同质性不仅在TEM, XFlash还使用传统的设置^®760年SEM探测器。在相同的测量时间,与环形XFlash元素的映射^®FlatQUAD检测器达到更高的数据质量比传统SEM和EDS可能产生同样的数据质量高出15倍的x射线收集立体角在环形几何。