的结合micro-XRF与SEM能够在多个尺度上分析样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(µm)及以下的单个系统。因此,通过将微xrf添加到SEM中,可以转换为双源系统,这意味着有两个激励源,电子束和光子束。两种源都可以单独使用,也可以同时使用,以产生样品x射线,这些样品将使用相同的EDS探测器进行测量。此外,可以利用每种分析技术的优点:(i) XRF源具有非常低的背景,这意味着可以观察到低至10ppm的元素浓度(元素和基质依赖),以及更大的信息深度,这意味着可以看到样品表面下的结构或元素。例如,即使在非常低的浓度下,也可以检测到表面以下的包裹体;(ii)电子束可以聚焦到极小的区域,并产生极高分辨率的信息。
这样的组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,可以使用micro-XRF快速扫描大型岩石样品,在本例中是来自Karangahake浅成热液矿床的含金样品。这使得可以识别包括含金颗粒在内的感兴趣区域(图1和2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣区域”(图3)。因此,这种双光束系统可以同时识别大尺度(cm到mm)的相关信息,从而可以高效准确地执行详细的小尺度(mm到µm)。