SiBrickScan

Получитеценнуюинформациюдляпроверкииоптимизациикачествапродукции

ЗнаниекислородногоградиентаслитковSiпозволяетсделатьважныевыводы,помогающи,енапример,контролироватьиоптимизироватьпроцесскристаллизациикремнияиливыявлятьпартииплохогосырья。ПоэтомуSBSпоможетсэкономитьзатратызасчетоптимизациикачествапродукциииуменьшенияколичествадефектныхпластин。Случайнаявыборкаотдельныхслитковзначительноснижаетусилияпоподготовкевыборкиипредоставляетсоответствующуюинформациюгораздораньше。

Самаявысокаячувствительностьпосовременнойспектроскопии红外光谱

Интерстициальнаяколичественнаяоценкакислородаспомощьюспектроскопии傅立叶变换红外光谱(ASTM /半1188)являетсяизвестнымиважнымметодоманализа,ноограниченнымтонкимиобразцамиSiвнизкомдиапазонемм。SiBrickScan (SBS)преодолеваетэтоограничениеиявляетсяпервойкоммерческидоступнойполностьювыделеннойсистемойдляопределенияградиентакислородавполныхслиткахвдольихосновнойосибезнеобходимоститрудоемкойиразрушительнойтонкойподготовкиобразца。SBSразумноиспользуетсвязаннуюсэтиминфракраснуюполосупоглощенияобертонавсочетанииснадежнойисовременнойтехнологией力量傅立叶变换红外光谱。

Количественнаяоценкаинтерстициальногокислородабезподготовкитонкихобразцов

SiBrickScanпозволяетпроводитьанализинтерстициальногокислородавкремниевыхслиткахдлинойд500омм。Этаценнаяинформацияпозволяетоптимизациипроцессакристаллизаци,иатакжеквалификацииотдельныхслитковпередраспилив。

ВысокоекачествокалибровкинепосредственносвязаносASTM /半1188

ОценкакислородаSBSиспользуеткалибровку、котораянапрямуюсвязанасп/роизводнымотASTM /半1188。Посколькукорреляцияобоихметодовпочтиидеальна,интерстициальнаяконцентрациякислородаоцениваетсясвысокойточностью。

НаивысшаячувствительностьобнаруженияспомощьюSBS

Взависимостиотформыисвойствобразца(например,сопротивления)SBSможетдостичьинтерстициальныхограниченийобнаружениякислородаLt;2 ppma (Lt;10¹⁷/厘米^3.)．Есливызаинтересованывизмерениитехнико——экономическогообоснования,пожалуйста,свяжитесьсвашимместнымпредставителем力量。

Выделенные версии и SBS дл азли и н типов слитков

SBSдоступендляполиилимонокристаллическихстандартныхслитковПВ。(попе е е е е е е е е е ие^мм2),атакжедляцилиндрическихслитковSi,например,сдиаметром150мми(6)ли200мм(8)。Системыдлядругихдиаметровиформмогутбытьдоступныпозапросу。

Промышленность со с м местим и и и о и иза н

Надежныйиточныйлинейныйприводавтоматическиконтролируетположениеизмеренияслитка:взависимостиотконфигурацииитипаслиткапространственноеразрешениекислородавразмере12ммможетбытьдостигнутовдольосислитка。Надежныеибезопасныемеханизмыблокировкиисключаютрискконтактаоператорасдвижущихсячастями。

Интуитивнопонятныйипростойвиспользованииинтерфейспрограммногообеспечения

SiBrickScan (SBS)включаетвсебяспециальныйиинтуитивнопонятныйграфическийпользовательскийинтерфей,соптимизированныйдляпромышленнойсреды。Такжеобычнымипроизводственнымиработникамистандартнуюпроцедуруэксплуатацииможноузнатьзанесколькоминут:простозагрузитьслиток,выбратьжелаемыйрецептанализаиначатьизмерение。Самоизмерениебудетпроводитьсяавтоматически,включаяоценкуданных。

Инновационныйпутьлучавысокойчувствительностисвключеннымэталономобразца

Уникальныйиинновационныйинфракрасныйлучпутьобеспечиваетвысокуючувствительностьизмерения。Вприборужевключенавысококачественнаяэталоннаявыборка,иэталонноеизмерениеделаетсяавтоматически。

Параметрыдетекторавсоответствиистребованиямиклиентов

SBSдоступенлибосдетекторомохлажденияСтирлинга,работающимнезависимоотжидкогоазота。ДополнительноSiBrickScanтакжеможнозаказатьсжидкимдетекторомохлажденияазота,включаяавтоматическоеустройствопополнения。