尺寸边缘PSS
是LED衬底和外延制造商理想的计量和检测系统
Основныемоменты
尺寸边缘PSS
布鲁克的Dimension Edge™PSS原子力显微镜与AutoMET™计量软件是LED衬底和外延制造商理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension Edge AFM平台的延伸，Edge PSS集成了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率，同时还为基板测量提供了基于生产的解决方案。
纳米
决议
分析PSS基板的每个关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸基材和epi粗糙度测量。
生产级
易用性
在物有所值的工业AFM中提供最佳的用户体验。
Особенности
PSS分析的最高分辨率
当图案蓝宝石衬底(PSS)的间距小于2微米时，传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺计量所需的分辨率。Dimension Edge PSS原子力显微镜(AFM)以亚纳米分辨率解决了这一需求，并且能够一次测量多达9个2英寸晶圆(或单个4或6英寸晶圆)，提供所有必要的数据，以保持PSS制造过程处于控制之中。
除了内置于Dimension Edge PSS中的特定PSS测量功能外，该系统还集成了Dimension显微镜已成为著名的所有世界领先的布鲁克AFM技术，包括用于外延粗糙度测量的高分辨率和低噪声，以及诸如TappingMode, Contact Mode, PhaseImaging™和LiftMode™等标准和专有AFM模式。
平顶图案蓝宝石衬底的三维AFM图像。
先进的PSS计量能力
Dimension Edge PSS系统可以增强对PSS结构的分析。
Dimension Edge PSS AFM为分析PSS基板的每个关键参数提供纳米分辨率，同时自动收集整个晶圆和晶圆之间的信息。布鲁克的专用PSS分析包可以同时提供以下数据:
- 高度，宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别与测量
- 污染识别
- 转弯识别和转弯角度
- 平顶识别
行业领先的自动化软件
Edge PSS集成了专为满足LED制造要求而设计的AutoMET软件。该软件具有两种不同的操作模式:
- 操作员水平-一个简单的用户界面，按按钮引导用户通过提示的变化，对齐，调整和资格的步骤。单按钮操作可自动运行多达9片晶圆，具有简单的通过/失败输出。
- 工程师级-密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键的AFM参数。在这种模式下，工艺工程师也可以很容易地设置所有必要的合格/不合格标准。
Dimension Edge PSS通过简单的激光对准和自动报告生成提高了操作员的可用性，提供了性价比最高的AFM中的最佳用户体验。
