扫描电容显微术(SCM)

映射承运人在非均匀掺杂半导体样品浓度通常依赖工具,如二次离子质谱(SIMS),扩散阻力分析(SRP)和一维capacitance-voltage (C-V)。这些工具生成一维数据,需要量化的二维信息推断。

扫描电容显微术(SCM)提供了一种方法直接测量活性载体浓度与纳米尺度精度两个维度。SCM是来自联系方式和措施的变化提示和样品表面之间的电容使用极其敏感的高频谐振电路。

除了SCM,力量提供了几种Nanoelectrical表征模式广泛的电子应用程序。