SIRIUS-RF
第四代系统提供行业标准的可靠性
符合SEMI标准
Основныемоменты
Sirius-RF
Sirius-RF是成熟平台中的第四代系统，可提供行业标准可靠性、易用性、晶圆厂自动化和SEMI标准合规性。
会聚束
XRR
提供快速，第一原则的厚度和密度测量划线
双重来源
µ光谱仪的配置
为每个设备的各种层提供灵活性和最佳性能
堆栈
测量能力
以非破坏性的方式在计量垫上或直接在设备上进行成分和厚度测量
Особенности
Sirius-RF特性
- 用于快速，第一线厚度和密度测量的会聚光束XRR
- 双源μ XRF配置，为每个设备的各种层提供灵活性和最佳性能
- 用于高级存储器(DRAM, PCRAM, 3D-NAND, MRAM)，逻辑，电源器件和封装
- 成分及厚度测量
- 在计量垫上或直接在设备上(非破坏性方式)
- 多重测量能力
Применения
应用示例:PCRAM
- 记忆元件(GeSbTe - GST)和卵形阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度是关键参数
- Sirius-RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测
- 快速收敛光束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。
Поддержка
支持
我们能帮什么忙?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。