结构特性

外延多层膜的结构特性是至关重要的功能的设备在半导体、光电、铁电体和自旋电子学。倒易空间映射(RSM)与XRD已成为事实上的技术描述薄晶体的结构层。RSM、垂直和横向应变成分和域影响决心无损。RapidRSM,衍射强度是用1 d探测器测量积极读出扫描执行,导致一个戏剧性的减少扫描时间只有几分钟,甚至几秒钟。

传统又名共面x射线衍射探测距离垂直于样品表面。这意味着属性包括域的相对取向和平面点阵参数可以本质上仅仅是一个假设。non-coplanar探测器的手臂,D8发现+能够直接测量表面平面电影属性的示例。

很多处理步骤离开残余应力可以影响生产组件的性能。压应力可以改造成一个金属镀层,用于抵抗裂纹扩展,而可以利用拉伸应力增强半导体的导电率。紧张的材料表现出原雷竞技网页版子间距的变化,可以检测到x射线衍射(XRD)和相关的压力通过弹性常数。