微电子元件越来越复杂。表面贴装器件(SMD)集成电路(IC)的尺寸和相互距离也变得越来越小,主要通过印刷电路板(PCB)夹层下的电线实现相互连接。因此,分析此类样品需要相应研究方法具有高空间分辨率一定的穿透能力。Micro-XRF作为一种元素成像技术,它具有< 20μm的空间分辨率并且对于绝大多数金属元素具有很高的灵敏度,因此,它可以成为从新型电子元器件设计和材料的研发到贵金属零部件回收整个“生命周期”中的重要分析研究手段。主要应用是失效分析和质量管理,包括镀层厚度的测量,例如,电子元器件中盟线的接触,或焊盘凸起等。RoHS- WEEE筛。可通过识别电子元器件中贵金属或有害物质的富集程度和相应位置,以实现高效环保的废物处理以及电子元件的回收利用。