通过X射线荧光分析(光谱仪)可以很容易地测定多层膜样品的膜厚和化学成分。可以直接在波长色散型X射线荧光光谱仪(WDXRF S8)老虎上分析多层膜样品。
毫升+对光谱+进行了扩展,采用波长色散型x射线荧光光谱(wdxrf)分析单层和多层薄膜样品。它能直接测定小到几个原子层(小于1 nm),大到微米甚至毫米数量级的多层膜样品的厚度和成分。毫升+采用完全基本参数方法进行所有计算。毫升+在测定样品厚度和成分时,是基于SPECTRAplus的无标样校准,不需要特定的多层膜标准样品。但是,如果有多层膜标准样品,可以用它来优化分析结果。
一旦设置好模型,ml+在每次测量结束后会自动评估。生产多层膜玻璃或镀层钢板时,可以用多层膜软件进行常规的过程控制。