自动AFM计量
布鲁克的自动化AFMs提供成熟的工业计量解决方案，用于表面粗糙度测量，化学机械平面化(CMP)，以及最新技术节点和晶圆的蚀刻深度测量。
为什么选择原子力分析
原子力剖面是最准确，无损的方法可用于优化和监控具有挑战性的CMP和蚀刻工艺步骤。直接测量不需要测试结构或模型，可以在模具的活动区域进行，以获得对工艺变化的最佳灵敏度。
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。