洞察力帽
在线计量可在几分钟内完成，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
蚀刻和CMP的无损测量
亮点
一个高性能分析器和AFM在一个紧凑的形式因素
布鲁克的InSight CAP自动化原子力测定仪是专门为半导体制造商和供应商的CMP和蚀刻测量设计的组合平台。灵活的配置，支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，为广泛的终端应用实现精确测量。从高效率的实验室到全自动的晶圆厂，InSight CAP分析器可以为最具成本效益的计量解决方案进行最佳配置。
< 0.5 nm
长期动态再现性
直接，稳定的在线计量关键工艺决策
事实上
灵敏度自动CMP计量
专用的盘子和侵蚀计量包无与伦比的过程控制和发展
< 20海里
轮廓平整度超过26mm
高精度后cmp平面度测量针对关键的EUV光刻开发和过程控制
特点
在线计量可在几分钟内完成，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制
在先进的技术节点上，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的工艺控制要求，以满足聚焦深度的需求。InSight CAP围绕最新一代AFM扫描仪构建，在65 μm X / Y扫描范围内提供小于10纳米的改进平面度。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍更快的接合性能和5倍更快的调优，以提高生产力，所有这些都具有更高的可靠性。它的DT自适应扫描模式也有助于更快的扫描和改进计量。凭借其先进的功能组合，InSight CAP高分辨率分析器能够以埃级精度测量宏观碟形和侵蚀。
灵活的配置，支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，为广泛的终端应用实现精确测量。从高效率的实验室到全自动的晶圆厂，InSight CAP分析器可以为最具成本效益的计量解决方案进行最佳配置。
支持
支持
我们如何提供帮助?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。