fp-III
第三代Femto-Pulse激光修复系统
45 nm制程生产光掩模修补
亮点
高速和精确面具修复能力
的fp-III®Femto-Pulse激光系统是最新的除了力量成功家庭的光掩模修补工具。以其非凡的高速和精确面具修复能力,fp-III是今天最成本有效的解决方案来取代过时了,老了,速度和现有的激光和FIB面具修复系统能力。fp-III是专为批量生产面具维修到45纳米技术节点,包括大的和小的区域图像重建,通过薄膜维修。
广泛
激光烧蚀&粒子移动的材料雷竞技网页版
包括铬、莫西人不透明的莫西人,罪恶,石英、EUV,外国材料,和持久的未知粒子雷竞技网页版
精确的
边缘位置
从目标≤20 nm(±)的材料雷竞技网页版
非凡的精度控制允许维修具体匹配指定的参考或不同偏置线边缘
迭代修复
能力
femto-pulse激光
保证没有吸收或石英损害,没有热损伤,没有飞溅或旋卷
所有的面具
类型
45 nm节点修复
与从EUV掩删除未知粒子的能力
特点
终极控制权的面具很容易修复
我们Fempto-Pulse激光修复过程是完全可控的形状,权力,和脉冲的数量;独立的物质组成、材料接口或几何被删除。
此外,集成本地模式复制功能是系统上的标准,以方便安装和可重复的结果。
专为最佳性能
fp-III是标准的反映和北京成像提供最好的传输性能。
提供的年代uperior through-pellicle修复和粒子去除能力持久未知的粒子污染,即使在大区域。
很多能力的担忧
力量的面具修复fp-III交付production-proven、高速维修:
- 没有真空要求
- 没有化学反应
- 没有化学残留
- 没有梁相关充电效果
- 不需要不断漂移修正使用不良的定位标记
支持
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。